及 竹北 陸續 發現 「 美國 無線電 公司 」 舊 廠址 地下水 遭 三氯乙烯 污染 ， 而 十幾二十 年前 包括 美國 無線電 公司 在 內 的 電子 電器 用品 業 在 台 設廠 大 受 歡迎 ， 揭發 此 案 的 環境 品質 文教 基金會 秘書長 劉銘龍 說 ， 過去 的 來自於 可見 的 煙囪 ， 但是 現在 的 危機 卻 是 不 的 ， 社會 大眾 不得不 更加 小心 而 對 目前 集 「 三千 寵愛 於 一 身 」 的 半導體 廠商 特別 挑剔 。 科技 新貴 半導體 科學園區 在 新竹 落地生根 將近 十八 年 ， 隨著 台灣 高科技 產業 蓬勃 發展 ， 目前 已 有 二百多 家 廠商 進駐 ， 包括 通訊 、 光電 、 電腦 及 周邊 設備 、 精密 機械 、 生物 技術 、 半導體 等 六 大 產業 在 內 ， 半導體 產業 就 佔 了 近 百 家 。 潔淨 的 廠區 ， 密閉式 的 廠房 ， 少 了 吐 黑煙 的 煙囪 以及 川流不息 的 重型 車輛 ， 頂 著 高科技 的 光環 ， 「 儘管 對 廠商 不 了解 也 接觸 不 到 ， 園區 當初 仍 很 受 居民 歡迎 ， 」 「 新竹市 公害 防治 協會 」 創始 會員 ， 也 是 在 新竹 土生土長 的 國大代表 鍾淑姬 說 。 事實 上 ， 園區 內 半導體 ， 除了 純 研發 廠商 外 ， 有 生產 製程 的 半導體 廠商 佔 三 、 四成 。 從 上游 的 晶圓 切片 、 打磨 ， 中游 的 拉晶 、 切片 、 蝕刻 等 積體電路 製程 ， 到 下游 的 晶圓 切割 、 導線 電鍍 等 晶片 封裝 製程 ， 由於 產品 類型 和 規格 多樣 ， 因此 製程 中 產生 的 污物 相當 多 且 複雜 。 其中 利用 氫 氟 酸 、 硝酸 等 溶液 進行 濕式 化學 蝕刻 ， 以及 使用 大量 超 純水 清洗 晶圓 、 晶片 ， 都 會 產生 許多 酸鹼 廢水 及 含 氟 廢水 需要 處理 。 承包 園區 污水 處理 工作 的 「 中欣 工程 行 」 公司 環境 工程部 副理 張芳淑 就 指出 ， 園區 裡 所有 廠商 產生 的 廢水 都 必須 排到 污水 處理廠 ， 經過 進一步 處理 再 統一 排放 ， 而 其中 有 八成 來自 半導體業 。 這 幾 次 科學園區 的 受到 指責 ， 就 多半 出自 廢水 問題 。 廢水 到 哪裡 去 了 ？ 鍾淑姬 指出 ， 去年 十月 間 ， 園區 雨水 雨水 園區 雨水 在 長期 的 環保 浪潮 中 ， 環保 團體 已 漸漸 從 激情 圍廠 走向 採證 分析 ； 同樣地 ， 業界 也 慢慢 從 消極 因應 ， 轉向 主動 積極 。 近來 ， 不論 法令 或 環保 團體 ， 對 業界 的 環保 要求 已經 從 綠色 產品 延伸到 綠色 生產 。 也就是說 ， 廠商 必須 從 製程 中 就 開始 減 廢 、 回收 、 資源 再 利用 ， 直到 管 末 ， 廢水 、 廢棄物 處理 也 都 必須 「 物 有所 歸 」 。 力晶 半導體 環保課 課長 李谷蘭 特別 強調 ， 如今 對 工廠 的 要求 ， 是 在 設廠 時 ， 環保 的 需求 和 成本 效益 就 被 考慮 在 內 ， 也 就是 「 ｄｅｓｉｇｎｉｎ 」 （ 事 前 規劃 ） 的 觀念 。 ＩＳＯ 旋風 對 廠商 來 說 ， 環保 已 成為 降低 廠房 設備 負荷 、 提升 產品 競爭力 時 ， 不可 不 考量 的 因素 。 去年 八月 ， 由於 環保 標章 業務 增加 ， 「 環境 與 發展 基金會 」 從 工業 技術 研究院 獨立出來 ， 總經理 于寧 說 ， 美國 稅務局 自 去年 起 針對 添加 臭氧層 殺手 ── 氟氯 碳化物 的 進口 產品 加 稅 。 「 未來 諸如 此 類 的 貿易 障礙 會 愈來愈 多 ， 」 于寧 說 。 像是 目前 全球 產業界 投入 ＩＳＯ １４０００ 系列 的 驗證 ， 在 國內 也 颳 起 一陣 旋風 。 這 是 一 套 環境 管理 的 標準 ， 旨在 鼓勵 企業 建立 環境 管理 系統 ， 以 污染 預防 與 資源 節用 的 清潔 生產 過程 ， 生產 綠色 產品 ， 並 藉著 持續 不斷 在 每 個 步驟 改善 ， 進而 改善 整體 環境 品質 。 身為 現階段 台灣 科技 產業 龍頭 的 半導體業 ， 對 ＩＳＯ １４０００ 已 是 一呼百諾 ， 已 得到 認證 的 世界 先進 積體電路 風險 管理部 經理 范光榮 指出 ： 「 半導體業 目前 已 有 多 家 廠商 獲得 認證 ， 尚未 得到 認證 的 廠商 也 在 急起直追 。 」 于寧 也 說 ， 國內 有些 大廠 ， 像是 東元 電機 ， 甚至 開始 要求 上游 廠商 也 要 推動 ＩＳＯ １４０００ 的 驗證 ， 形成 一 條 上下游 互相 帶動 的 鏈條 。 產業 食物鏈 不只 如此 ， 上下游 廠商 在 製程 方面 的 ， 目前 也 已 成為 學者 討論 的 產業 趨勢 。 在 半導體 業界 ， 由於 對 溶劑 純度 的 要求 很 高 ，